半导体温度检测技术专利_陕西省知识产权服务中心

序号	标题(译)(简体中文)	公开(公告)号
1	一种基于离子注入掺杂SiC晶片的高温测量方法	CN115148585A
2	基于MEMS工艺微尺度流动换热高精度集成测试方法	CN114572930A
3	用于露点测量的振动-测温复合型谐振感湿芯片的制作方法	CN113804726B
4	支持单点校准的温度传感系统	TWI445936B
5	一种基于声表面波传感技术的晶圆温度场测量装置	CN113436999A
6	一种双层结构的晶圆温度场重建装置	CN113506760B
7	可实时精准监测温度和射频特性的功率器件及其封装方法	CN113140527A
8	一种等离子体刻蚀晶圆的温度分布检测装置	CN112212994A
9	温度测量装置、温度测量方法、激光强度分布测量装置、激光强度分布测量方法、半导体电路评估装置和半导体电路评估方法	JP2022037825A
10	一种晶圆测试温度调节的装置和方法	CN109659244A
11	化學機械研磨控制系統及其溫度感測裝置	TWM544105U
12	硅片激光退火中多梯度温度场的装置和方法	CN102034684B
13	双向传输数位温度感测器	TW201144779A
14	高速高温工艺中的晶圆应力测量装置	KR100684544B1
15	基于4H-SiC的振动-温度集成传感器及其制备方法	CN116002611A
16	双通道谐振式温湿度传感器芯片、传感系统及加工方法	CN115950546A
17	基于多层膜热防护的高温传感器及其制备方法	CN114812843B
18	一种基于氧化锌微米棒高灵敏低温传感器及其制备方法	CN115683372A
19	一种温湿度多模态传感器及其温湿度测量方法	CN115524376A
20	一种基于PEDOT-ZnO纳米异质结的温度传感器及其制备方法	CN113405685B
21	一种微悬浮结构的多流道热传感器及其制备方法	CN115465833A
22	一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备	CN115028474A
23	一种新型温湿度MEMS传感器及其制备方法	CN114838761A
24	热防护温度传感器及其制备方法	CN114838835A
25	测量热流密度以及压力的复合式薄膜传感器及制备方法	CN114199306A
26	一种宽温度范围电阻与温度线性相关的柔性薄膜传感器	CN110361105B
27	一种用于温度检测的抗变形柔性温度传感器及其制备方法	CN112229533B
28	一种柔性温度传感器的制作方法	CN111504493B
29	温度传感器及其制备方法及应用温度传感器的感测装置	CN111964800A
30	一种SiC高温压力传感器及其封装方法	CN111003683A
31	基于微加工工艺的深低温温度传感器封装结构及制备方法	CN109520632A
32	一种基于超高电阻温度系数非晶态碳膜的温度传感器芯片	CN107389217A
33	一种带I2C通信接口的铂电阻温度传感器的制备方法	CN104089719B
34	基于微谐振器的高精度温度测量系统	CN204064504U
35	响应时间短的温度传感器	CN204043813U
36	一种基于非晶碳膜的超高线性度温度传感器芯片	CN107389215A
37	带温度传感器的多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法	CN101639391B
38	快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器	CN104132745B
39	基于Pt反应电极的气体传感器及温度补偿方法	CN101526494B
40	一种薄膜电阻温度传感器及制造方法	CN1007764B
41	基于微谐振器的高精度温度测量系统	CN104180919B
42	温度、风速、风向和气压集成传感器	CN1670488A
43	一种Z-wave的温度传感器	CN205580613U
44	一种基于CMUT的温度传感器及制备和应用方法	CN103217228A